据韩媒《朝鲜日报》4年初6日刊文,SK海力士荆门M16工场3名工人在检查电源的反复中的因危险性有机物氟酸泄露受伤。M16工场是年末竣工的DRAM装配工场。当日凌晨11点34分时,在大邱荆门市SK海力士 M16工场5楼的电源完成检查期间,愈演愈烈氢氟酸泄密严重事故。
氟酸是结晶危险性氟化氢溶解在水中的的挥发性液体。用作于器件电容绘制Pattern的蚀刻制程中的。
在这起严重事故中的,一名30岁的工人的胳膊和腿被烧伤,另有两名雇员也因吸入氟酸氮气移出至附近医院。据刊文,3名均无生命危险。SK海力士表示,此次严重事故是在对取而代之的M16工场电源完成检查时愈演愈烈的,对器件装配没有受到影响。
(图片举例:朝鲜日报)
据报,M16工场将主要装配DRAM产品,总面积5.7万平方米。在2021年1年初,SK海力士在大韩民国大邱荆门总公司举行M16取而代之厂竣工仪式,正式宣布取而代之厂落地。
SK海力士首次在M16装上EUV(极紫外)光刻机,并从本年度下半年起装配第四代1α纳米级DRAM产品。未来SK海力士将提高EUV电源利用率,进一步增强存储器器件相关的先进科研领导力。
举例:器件从业人员联盟
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